为了观察和分析被检样品，除照明物质和透镜外，还必须有针对性地利用电子和样品作用时所产生的各种有意义的信号物质。
电子与样品碰撞后，由于库仑场的作用它的运动方向和动能都可能有变化。我们可以把作用后的初始电子按其运动方向分成三类:(一)透射电子(二)背散射(或称反射)电子(三)吸收电子。透射电子又可分成三类：(a)直接透射电子，指穿过样品时运动方向和能量没有明显改变者;(b)弹性散射电子，指穿过样品后运动方向相对于入射方向有所改变而能量几乎不变者。非弹性散射电子，指穿过样品后运动方向有变化，能量也有部分损失者。背散射电子是初始电子作用后运动方向的改变大干900，因而从样品表面反射回来者.这里也包含有弹性散射和非弹性散射两类电子。它们的能量有不同的很失，故有很宽的能量分布范围。吸收电子指样品中吸收的残存电子。它们是入射电子在样品内经多次碰撞、失能，直至动能为零，因而不能逸出样品的电子。
无论是透射或反射的非弹性散射电子，它们在与样品作用的过程中都将损失部分能量。这种能量可以引起样品中原子的激发，最终使其产生升温、磁化、电离、二次激发等效应.透射电镜和扫描电镜中正是分别利用上述的某些信号作为其实验基础。
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